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一.單晶硅石墨熱場,是一個及物理,化學,幾何綜合理論為一體,專門研究人員經(jīng)過多年反復考證。多年經(jīng)驗總結制定。 二.熱場采用細結構中粗石墨做爐底護盤,保溫罩,上下蓋。采用進口等靜壓石墨做加熱器,坩堝,導流筒,托桿,鍋托等,保證了石墨坩堝的強度及純度。 三.熱場是單晶硅成晶的重要條件之一,熱場的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶,以及拉制單晶的質(zhì)量好壞,其材質(zhì)好壞直接影響熱場壽命。
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